[스포츠서울 신재유기자] 국내 반도체 산업이 세계 반도체 시장 점유율 1위 자리를 굳건히 지키며 동종 업계에서 브랜드 파워를 자랑하고 있다.

그 뒤에는 반도체 소재 기업 (주)아이켐스(ichems)(대표 김현창)가 있다. 경기도 화성시에 위치한 이 업체는 ALD/CVD용 전구체(Precursor) 개발·생산 전문 벤처 기업이다.

1997년부터 반도체 회로 위에 여러 화합물을 균일하게 증착하는 유기금속화합물을 합성하고 초고순도로 정제하는 기술을 활용해 반도체 소자용 프리커서 시장에 진출했다.

이후 꾸준히 기술 개발에 매진해 반도체 제조 공정 중 화학적으로 달라붙는 단원자층의 현상을 이용해 나노 박막을 증착하는 ALD(Atomic Layer Deposition) 반응 장비에 대한 원천 기술을 보유하게 됐다.

이 기술은 웨이퍼 표면에서 분자의 흡착과 치환을 번갈아 진행해 원자층 두께의 초미세 층간 증착이 가능하고, 산화물과 금속 박막을 최대한 얇게 쌓을 수 있다.

또 가스의 화학 반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착시키는 화학 기상 증착(CVD)보다 낮은 온도에서 막질을 형성하므로 여러 가지 반도체 부품이 하나로 집적되는 시스템온칩(SoC) 제조에 적합하다.

(주)아이켐스는 이 기술을 토대로 Al(알루미늄)-CVD Precursor 개발/사업화에 성공했고, 2015년까지 15건의 제품을 사업화했으며 획기적으로 3세대 ZrO2(지르코늄) 전구체도 개발/사업화했다.

이 업체가 세계 최초로 물질특허 제품을 개발하여 사업화에 성공한 Al-CVD 전구체와 ZrO2 전구체는 해외 글로벌 기업의 기술 수준을 뛰어넘는 것으로 평가받고 있다.

(주)아이켐스 김현창 대표

ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018 인증을 취득했고 2018년 특허기술상(충무공상)을 수상한 김현창 대표는 “반도체가 고집적화, 미세화 됨에 따라 안정적으로 균일하게 박막을 형성하는 프리커서 사용량이 급증해 관련 시장 규모가 연간 7,000억 원대에 달한다”면서 “기술 업그레이드에 힘쓰겠다”고 피력했다.

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